标配：直流探针臂
• 所有系统中都标配4个直流探针臂，探针臂带三同轴接头和内部的极细低温电缆，电缆50欧姆阻抗匹配，可以进行直流到50Mhz的测量。
• 系统标配4套100微米直流探针，直流探针采用全通道Guarde保护结构。
• 直流探针臂漏电流指标：优于100fA@1V
• 独特的探针臂 X-Y-Z-R四维调节，能满足整个2寸或4寸样品座上任意一点的测试，R轴探针臂摆动设计，有效降低了对探针Y方向运动行程的要求。
直流探针臂
可选：探针臂
• 微波探针臂：带2.92mm接头，内置 40Ghz 微波同轴电缆；带1.85mm接头，内置67Ghz 微波同轴电缆；带1.0mm接头，内置 110Ghz 微波同轴电缆
• 光纤探针臂：多模IRVIS光纤，波长范围400-2100nm；单模SMF光纤，波长范围1290-1650nm；多模UVVIS光纤，波长范围200-900nm
S系列光纤臂
D系列光纤臂
可定制：探针臂
• 双光纤探针臂
• 直流和微波组合探针臂
• 热电偶探针臂
探针臂详细型号可选：
